双面研磨机
适用于2~8英寸晶圆加工
工艺 |
加工能力 |
TV5 |
TTV |
铸铁盘+碳化硼 |
4寸24片/盘 |
≤3μm |
≤5μm |
6寸5片/盘 |
工艺 |
加工能力 |
TV5 |
TTV |
铸铁盘+碳化硼 |
4寸24片/盘 |
≤3μm |
≤5μm |
6寸5片/盘 |