双面抛光机
适用于2~8英寸晶圆加工
工艺 |
加工能力 |
TV5 |
TTV |
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铸铁盘+PAD |
4寸 24片/盘 |
≤2μm |
≤5μm |
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6寸 6片/盘 |
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工艺 |
加工能力 |
TV5 |
TTV |
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铸铁盘+PAD |
4寸 24片/盘 |
≤2μm |
≤5μm |
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6寸 6片/盘 |
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